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空気圧式真空精密チャック
1. 薄膜の変形を用いた加力制御により、ワークのクランプ状態を効果的に維持し、変形を防止します。
2. チャックは無段階の圧力調整を実現し、ワークの実際の加工負荷に応じて自由に圧力を制御できるため、加工後の精度を維持できます。
3. カプラに真空吸盤を組み込み、カプラのZ方向の位置決め精度とクランプ力を確保し、薄肉部の変形を抑制する。
4. 径方向の位置決め精度：チャックには高精度コラムチャックを採用し、深冷処理を施すことにより、2μm級の同心度精度を確保しています。
5. エアーピックモジュールを導入することで、加工の安全性と安定性をより効果的に確保します。
箭石気動真空精密チャックの動作原理および構成部品：
(1)空気圧薄膜チャック本体
(2)真空発生器
(3) ガス供給圧力制御器
(4)空気圧スイッチおよびその他の付属部品
矢石気動真空精密チャックは、真空発生装置によって生成された圧力がチャックの密封チャンバーに導かれ、ワークの底面を接触面としてチャックと密閉チャンバーを形成したうえで、真空吸引によりワークを確実に吸着・固定します。チャックの周囲には8個のフィルム式クランプ爪が配置されており、真空吸引状態の際にこれらのフィルム式クランプ爪のエアバルブを開くことで、8個のクランプ爪が周囲からワークを包み込むように環状に把持し、ワークを平らで安定かつ強固に保持して変形を抑制します。これにより、ワークの精度を0.005～0.008mmの範囲内に制御でき、製品の品質と生産効率を確実に確保できます。
